[发明专利]磁传感器用磁敏线及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880058378.3 申请日: 2018-08-08
公开(公告)号: CN111052271B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 滨田典彦;下出晃广 申请(专利权)人: 爱知制钢株式会社
主分类号: H01F1/153 分类号: H01F1/153;G01R33/02
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 杨海荣;曲盛
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种磁敏线(磁敏体),能够实现磁传感器的测定范围的扩大、其耐热性、高温耐久性的提高等。本发明的磁敏线包含Co基合金,所述Co基合金具有在非晶相中分散有晶粒而得的复合组织。Co基合金例如为Co‑Fe‑Si‑B系合金。此时,相对于Co基合金整体,优选Si与B的合计量为20原子%~25原子%。优选地,晶粒的平均直径为70nm以下、晶粒相对于复合组织整体的面积比率为10%以下。磁敏线例如截面为圆形、线径为约1μm~约100μm。这样的磁敏线可以通过例如将包含Co基合金的非晶线在结晶化开始温度以上且低于结晶化结束温度的温度下加热的热处理工序而得到。此时,优选在对非晶线施加拉伸应力的同时进行所述热处理工序。
搜索关键词: 传感 器用 磁敏线 及其 制造 方法
【主权项】:
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