[发明专利]液滴沉积头及其致动部件

摘要

用于液滴沉积头的致动部件，包括：多个流体腔室，每个流体腔室设置有相应的喷嘴和相应的压电致动元件，该压电致动元件可被致动以通过使膜变形来引起流体从所涉及的腔室穿过喷嘴中的相应的一个喷嘴喷射，该膜部分地界定所涉及的腔室；其中每个压电致动元件包括：压电构件，该压电构件具有顶面和相对的底面，底面最靠近膜，顶面和底面在厚度方向上间隔开；下部电极，该下部电极被布置成邻近压电构件的所述底面；上部电极，该上部电极被布置成邻近压电构件的所述顶面；其中每个上部电极包括：第一层，该第一层由第一导电材料形成；第二层，该第二层由第二导电材料形成，第一层被布置在第二层与压电构件之间；其中当从该厚度方向观察时，第一层的至少一部分覆盖压电构件，第一层的该覆盖部分大体上在压电构件的整个顶面上延伸并且在长度方向上具有长度，该长度方向是垂直于厚度方向的方向，在该长度方向上，第一层覆盖部分的延伸最大或接近最大；其中当从所述厚度方向观察时，第二层的至少一部分覆盖第一层和压电构件二者，第二层的该覆盖部分被形成为图案，该图案的形状被设计为当压电致动元件被致动时适应于该压电致动元件的弯曲；其中当从厚度方向观察时，第二层覆盖部分的面积大体上小于第一层覆盖部分的面积的一半；其中第二层覆盖部分在第一层覆盖部分的所述长度上的投影覆盖第一层覆盖部分的所述长度的至少大部分。