[发明专利]差示折光检测器有效

专利信息
申请号: 201880059135.1 申请日: 2018-07-12
公开(公告)号: CN111094946B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 小田竜太郎 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 薛恒;王琳
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种差示折光检测器,在检测部(12)的受光面设置有排列为两列的多个受光元件(a1~a4、b1~b3)。(20)是成像于此检测部(12)上的狭缝图像。受光元件(a1)~受光元件(a4)在狭缝图像的位移方向连续配置而形成列(受光元件列(a1~a4)),受光元件(b1)~受光元件(b3)也在狭缝图像的位移方向连续配置而形成列(受光元件列(b1~b3))。受光元件列(a1~a4)与受光元件列(b1~b3)相互接触。
搜索关键词: 折光 检测器
【主权项】:
暂无信息
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