[发明专利]用于操作测量探针的操作设备在审
| 申请号： | 201880059268.9 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN111133319A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 诺伯特·皮诺-拉斯;赫尔诺特·洛普莱奇特;丹尼尔·科勒 | 申请（专利权）人： | 安东帕有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q70/02 | 分类号： | G01Q70/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 王晖;李楠 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于操作扫描探针显微镜(81)的测量探针(12)的操作设备(50)，其中测量探针(12)包括探针主体(51)和借助于托架(52)与探针主体(51)耦合的探针尖(85)，其中操作设备(50)包括：容纳装置(53)，该容纳装置用于将测量探针(12)容纳在容纳面(54)上；导向结构(55)，在该导向结构中，测量探针(12)可被引导，并且在此，探针主体(51)被至少部分周向地界定了，并且托架(52)和探针尖(85)被无接触地支承；以及输送装置(56)，该输送装置用于沿着导向结构(55)，将测量探针(12)从容纳面(54)输送至目标面(57)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 操作 测量 探针 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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