[发明专利]用于计量光束稳定的系统及方法有效
| 申请号： | 201880059813.4 | 申请日： | 2018-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN111094950B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | B·布拉森海姆;N·沙皮恩;M·弗里德曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/27;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述用于测量样品同时通过旋转偏光器元件来主动稳定经受偏光变化的光学测量光束的方法及系统。通过基于聚焦测量光束点的测量而主动控制光束路径中的光学元件的位置来补偿由旋转偏光器元件诱发的所述聚焦测量光束点的移动。可采用反馈及前馈两种控制方案来减小光束位置误差。在一个方面中，测量系统包含照明光束路径、收集光束路径或照明光束路径及收集光束路径两者中的旋转光学偏光器、光束位置传感器及主动光束补偿元件。由所述光束位置传感器检测光束位置误差，且将控制命令传送到所述主动光束补偿元件以减小测得的光束位置误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计量 光束 稳定 系统 方法 | ||
【主权项】：
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