[发明专利]针对射束图像系统的开关矩阵设计有效
| 申请号： | 201880060398.4 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN111095472B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王勇新;董仲华;赖瑞霖 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例，衬底(600)包括多个感测元件(600‑613)，多个感测元件(600‑613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619)，开关元件(619)被配置为连接第一元件与第二元件。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量的电子而生成的信号来控制开关区域。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 图像 系统 开关 矩阵 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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