[发明专利]光纤激光装置和用于加工工件的方法有效
申请号: | 201880060545.8 | 申请日: | 2018-07-31 |
公开(公告)号: | CN111133639B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 亚历山大·里马诺夫;迈克尔·冯达尔曾;詹姆斯·奥丁利;乔舒亚·舍恩利 | 申请(专利权)人: | IPG光子公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01L21/268 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 纪雯 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种表面处理方法和装置包括:操作准连续波光纤激光器,并对激光光束进行预扫描成形,以使瞬时斑点光束具有预定的几何尺寸、强度分布和功率;以最优角速度和角范围操作扫描器,以将预扫描光束分成朝着正被加工的表面偏转的多个子光束;引导子光束通过后扫描光学组件,以提供具有预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束,选择所述预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束以使瞬时斑点光束在扫描方向上以期望扫描速度拖曳期望长度,这允许将处理过的表面曝光预定的曝光持续时间,并具有预定的注量分布,从而为处理过的表面提供与准分子激光器或突发模式光纤激光器加工过的表面相当的质量。 | ||
搜索关键词: | 光纤 激光 装置 用于 加工 工件 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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