[发明专利]用于在多个电子基板上同时分配材料的方法和系统有效
| 申请号： | 201880060860.0 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN111108822B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 休·R·理德;托马斯·C·普伦蒂斯;斯科特·A·里德 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种分配材料的方法包括将电子基板传送到分配位置。电子基板具有至少两个相同图案和至少两个基准标记。该方法进一步包括：捕获设置在电子基板上的至少两个基准标记的至少一个图像，分析至少一个图像以确定电子基板在X轴方向、Y轴方向和θ方向上的位置，计算电子基板的旋转角度，以及旋转分配泵阵列以匹配电子基板的角度。替代性地，可以旋转电子基板以匹配分配泵阵列的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 基板上 同时 分配 材料 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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