[发明专利]重力补偿装置在审
| 申请号： | 201880061505.5 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111133385A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | M.伊拉思 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N15/00;F16C32/04;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种重力补偿装置(1)，其包括定子(3)和平移器(2)。平移器(2)可以沿着移动轴线(A)相对于定子(3)是可移动的。平移器(2)包括具有轴向磁化的第一永磁体布置(10)。定子(3)包括径向围绕第一永磁体布置(10)的第二永磁体布置(11)。定子(3)还包括第三永磁体布置(12)，该第三永磁体布置在第一永磁体布置(10)下方共轴布置且具有轴向磁化，该轴向磁化与第一永磁体布置(10)的轴向磁化相反地取向。此外，定子(3)包括磁性体布置(13)，其在所述第一永磁体布置(10)上方共轴布置。第一永磁体布置(10)、第二永磁体布置(11)、第三永磁体布置(12)和磁性体布置(13)形成磁性单元(14)且通过彼此相互作用产生补偿力(F |
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| 搜索关键词： | 重力 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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