[发明专利]用于进行高效低温涂覆的涂覆设备有效
| 申请号： | 201880062069.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN111164234B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 西格弗里德·克拉斯尼策;塞巴斯蒂恩·吉蒙德 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/44;C23C16/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)；保护屏蔽部件，其作为一个或多个遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分的可移除屏蔽板(2)布置在该室内，其中，至少一个可移除屏蔽板(2)相对于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面形成间隙(8)地安放，其中，多个导热机构(9)以对应于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的整个表面的至少一部分的程度填充该间隙(8)地布置，其中该导热机构(9)允许在所述可移除屏蔽板(2)与各自所遮挡的被冷却室壁(1)之间的导热传递。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 进行 高效 低温 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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