[发明专利]用于无接触测量距一表面的距离或两个表面之间的距离的方法和设备有效
申请号: | 201880062730.0 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN111373301B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 克里斯托夫·迪茨 | 申请(专利权)人: | 普莱斯泰克光电子有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/14;G01B11/24;G01B11/30;G01B9/02;G01J3/02;G02B21/00 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 德国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于无接触地测量距一表面(19)的距离或两个表面之间的距离的测量设备包括产生多色测量光(12)的测量光源(11)和将由测量光源(11)产生的测量光(12)定向到测量物体(18)上且接收由其反射的测量光(12')的光学测量头(16)。具有色散光学元件(22)和检测器(24)的摄谱仪(20)对反射的测量光(12')进行光谱分析。校准光源(30)产生具有已知且与温度无关的光谱成分的校准光(32)。评估装置(28)根据光谱的变化推导出校正值,借助所述校正值修改一方面光敏单元(26)和另一方面波长或根据波长推导出的变量之间的预设的关联,其中所述光谱由检测器(24)的光敏单元(26)上的校准光(32)产生。 | ||
搜索关键词: | 用于 接触 测量 表面 距离 两个 之间 方法 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普莱斯泰克光电子有限公司,未经普莱斯泰克光电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201880062730.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。