[发明专利]超声波传感器有效
申请号: | 201880062877.X | 申请日: | 2018-09-10 |
公开(公告)号: | CN111149372B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 绪方健治;黑木省吾 | 申请(专利权)人: | 第一精工株式会社 |
主分类号: | H04R17/00 | 分类号: | H04R17/00;B81B3/00;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/187 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 固定框(2)固定于外部的构件。超声波振荡部(3)配置于固定框(2)内,由具有挠性的第1基板和通过在第1基板上形成薄膜而成的第1压电元件形成,该超声波振荡部(3)在第1压电元件的伸缩的作用下挠曲,产生超声波。驱动器部(4)由将第1基板和固定框(2)之间连接起来且具有挠性的第2基板和通过在第2基板上形成薄膜而成的第2压电元件形成,该驱动器部(4)在第2压电元件的伸缩的作用下挠曲,使超声波振荡部(3)相对于固定框(2)摆动。固定框(2)、第1基板以及第2基板由同一个基板形成。 | ||
搜索关键词: | 超声波传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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