[发明专利]利用多个带电粒子束检查样品的方法在审
| 申请号： | 201880062887.3 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111527581A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘国狮;刘学东;方伟;招允佳 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种方法，包括：通过多个带电粒子束在样品上生成多个探针斑(310A‑310C)；在横跨样品上的区域(300)扫描多个探针斑的同时，从多个探针斑记录多个信号集合，多个信号集合分别表示多个带电粒子束与样品的相互作用；分别根据多个信号集合生成区域(300)的多个图像(361‑363)；以及根据多个图像生成区域的合成图像。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 带电 粒子束 检查 样品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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