[发明专利]用于阻止高纵横比结构在干燥过程中塌陷的组合物和方法有效
| 申请号： | 201880063853.6 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111164195B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 葛智逵;李翊嘉;刘文达;陈天牛 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C11D7/50 | 分类号： | C11D7/50;C11D11/00;C11D7/32 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了一种用于处理包含线距大小为50nm或更小的图案的衬底而阻止所述图案塌陷的水性组合物，所述组合物包含：包含水和水混溶性有机溶剂的溶剂体系；表面改性剂，其是烷基胺与有机酸之间的反应产物；和任选的pH调节剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阻止 纵横 结构 干燥 过程 塌陷 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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