[发明专利]用于大型偏移裸片对裸片检验的多步骤图像对准方法在审
| 申请号： | 201880064233.4 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111164646A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | J·劳贝尔;H·法加里亚;永·张 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/33 | 分类号： | G06T7/33;G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可使用方法或系统来使裸片对裸片检测图像对准，所述方法或系统经配置以：接收参考图像及测试图像；从所述参考图像及所述测试图像上的局部区段确定全局偏移及旋转角；及在执行精细对准之前执行所述测试图像的粗略对准去歪斜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大型 偏移 检验 步骤 图像 对准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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