[发明专利]微机械压力传感器设备和相应的制造方法有效
| 申请号： | 201880064494.6 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111164400B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | R·毛尔;F·霍伊克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/02;G01L9/04;G01L13/02;G01L15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械压力传感器设备配备有：第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用在该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；第二膜片(9)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5)；和布置在所述第二膜片(9)中和/或上的第二弯曲感测装置(11)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；其中，所述第二膜片(9)这样构型，使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 设备 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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