[发明专利]用于确定辐射的束的对齐属性的方法和装置有效
| 申请号： | 201880064682.9 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN111183396B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | S·T·范德波斯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/26;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种确定由辐射源发射的辐射的照射束的一个或多个对齐属性的方法和一种用于在确定由辐射源发射的辐射的照射束的一个或多个对齐属性中使用的装置。所述照射束用于辐照量测装置中的衬底上的目标区域。方法包括：(a)获得第一组强度数据；(b)获得第二组强度数据；(c)处理上述第一组强度数据和上述第二组强度数据以确定上述辐射的照射束的上述一个或多个对齐属性；其中所述处理包含将所述第一组强度数据与所述第二组强度数据进行比较以计算指示所述辐射的照射束的平移的值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 辐射 对齐 属性 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880064682.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
