[发明专利]错误检测分类在审
| 申请号： | 201880064838.3 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN111183510A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | D·坎特维尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 此处公开的实施例总的来说涉及用于对时间序列数据中的异常值进行分类的方法、系统、以及非瞬态计算机可读取介质，由定位在基板处理腔室中的传感器来收集所述时间序列数据。客户装置从定位在基板处理腔室中的传感器来接收所述时间序列数据。客户装置将所述时间序列数据转换为有界均匀信号。客户装置识别不匹配预期行为的信号子分段。客户装置对不匹配所述预期行为的经识别的所述子分段进行分类。 | ||
| 搜索关键词： | 错误 检测 分类 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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