[发明专利]用于质量流量控制器的被动阻尼系统有效
| 申请号： | 201880064909.X | 申请日： | 2018-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN111465793B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 特拉弗斯·施密特;王嘉;罗纳德·凯勒·史密斯;塞德里克·阿拉戈纳 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | F16K47/00 | 分类号： | F16K47/00;G05D7/06;F16K31/06;F16F15/04 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种质量流量控制器(100)，包括：入口(120)；流体通道，流体在所述流体通道中流过；质量流量传感器(140)，所述质量流量传感器配置成提供信号，所述信号与流过所述流体通道的所述流体的质量流量相对应；控制阀(170)，所述控制阀配置成调节从质量流量控制器(1)的出口(130)流出的所述流体的流量；以及被动阻尼系统(180)，所述被动阻尼系统(180)联接到所述控制阀(170)，并且配置成消散由控制阀组件(150)引入的流体流致振动。所述被动阻尼系统(180)包括阻尼垫(212，312)，所述阻尼垫位于阀座(230)的接收部(228A,228B)和隔膜背衬(222)之间。所述被动阻尼系统(180)还可以包括阻尼垫圈(210，310)。所述被动阻尼系统(180)还可以包括一个或多个柱塞球(208)，或一个或多个波形弹簧(300)，所述一个或多个柱塞球位于所述阻尼垫(212，312)和所述阀座(230)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 质量 流量 控制器 被动 阻尼 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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