[发明专利]具有较高热稳定性的Al-Cr-O基涂层及其制造方法

摘要

本发明涉及用于制造Al‑Cr‑O基涂层的方法，该涂层包括在工件表面上的至少一个Al‑Cr‑O基膜或Al‑O基膜，其中该方法包括以下步骤：a)将至少一个具有待涂覆表面的工件安放在真空室内，b)在待涂覆的工件表面上沉积含有铝和铬的膜A，其中在该膜中的按原子百分比的铝铬比具有对应于Al/Cr≤2.3的第一值，其中该方法还包括以下步骤：c)形成Cr‑O的不稳定化合物例如CrO3和/或CrO2，由此造成该膜A所含的至少一部分铬以Cr‑O不稳定化合物的形式离开该膜，d)在一个时间段内执行步骤c)，在此期间，在该膜A内的铬含量被减少直至获得在该膜A中按原子百分比的铝铬比的第二值，由此膜A被转变为膜B，膜B含有的减少的铬含量，对应于按照如下比例的铝铬，该比例对应于比例Al/Cr≥3.5或对应于按原子百分比的0％或约0％的铬含量。