[发明专利]具有脱开的电气和机械探针连接部的MEMS探针卡组件有效
| 申请号： | 201880067856.7 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111247437B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | M·塞尔瓦拉;J·基斯特 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 探针经由多个承载板连接到空间变换器。探针到空间变换器的电气接触是借助探针上的弹簧尾部特征实现的，该弹簧尾部特征连接到空间变换器而不连接到承载板。换言之，承载板在功能上纯粹是机械的。相对于在空间变换器上的单个探针的顺序放置，这种构造可以显著减少探针阵列的制造时间。可以并行地在多个探针承载板上填布探针，并且将承载板到空间变换器上的最终顺序组装具有大大减少的操作次数。可以补偿空间变换器与平坦度之间的偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 脱开 电气 机械 探针 连接 mems 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛姆法克特股份有限公司，未经佛姆法克特股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880067856.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆用空调装置
- 下一篇：用于加工工件的方法及工具机
