[发明专利]微细图案的制造方法以及使用了其的显示器件的制造方法

摘要

[问题]本发明提供在液晶显示器件制造领域中适宜使用的、实效性地制造分辨极限以下的抗蚀图案的方法。具体提供：维持具有锥形形状的图案形状且为极限分辨以下的微细图案的制造方法。[解决方案]一种微细图案的制造方法，其包含以下的工序：在基板上，涂布包含碱溶解速度为的酚醛清漆树脂的抗蚀组合物，形成抗蚀组合物层的工序，将前述抗蚀组合物层进行曝光的工序，将前述抗蚀组合物层进行显影，形成抗蚀图案的工序，将前述抗蚀图案进行整面曝光的工序，在前述抗蚀图案的表面涂布微细图案形成组合物，形成微细图案形成组合物层的工序，将前述抗蚀图案以及微细图案形成组合物层进行加热，将前述微细图案形成组合物层的前述抗蚀图案附近区域进行固化而形成不溶化层的工序，以及将前述微细图案形成组合物层的未固化部分去除的工序。