[发明专利]电弧源在审
| 申请号： | 201880069245.6 | 申请日： | 2018-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN111279014A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 西格弗里德·克拉斯尼策;于尔格·哈格曼 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/54;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电弧蒸镀装置，包括‑阴极组件，‑被布置为使得在电极和靶的正面之间的电弧能被建立的电极，和‑安放在靶的背面前方的磁引导系统，其特征在于，所述磁引导系统包括安放在中心区的用于产生至少一个磁场的机构和安放在周边区内的用于产生至少另一个磁场的机构，其中，如此产生的所述磁场形成用于引导电弧且控制在该靶的所述正面处的阴极斑路径的总磁场，其中，安放在中心区内的所述机构包括一个用于产生磁场的电磁线圈，安放在周边区内的所述机构包括两个用于产生另外两个磁场的电磁线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，未经欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880069245.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
