[发明专利]用于衍射受限光学系统的透镜像差的经验检测有效
| 申请号： | 201880070079.1 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN111279269B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 钟钦;安托尼·P·马内斯;黄·J·郑 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种在光刻系统中定性检测像差及确定数个像差形式的方法。此方法包括利用数字微型反射镜装置(digital micromirror device，DMD)图案来投射光学信号于可反射的基板上；在不同聚焦高度处(从高于至低于最佳焦点的范围)从基板取得返回光学信号；基于在多种聚焦高度处的返回光学信号，形成离焦曲线；比较离焦曲线与预定曲线，预定曲线为焦点的函数；及确定透镜像差是否存在。通过利用光刻系统的现存硬件来确定透镜像差是否存在，成本被维持在最少，及DMD图案在少于五分钟中产生离焦曲线而允许快速的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衍射 受限 光学系统 透镜 经验 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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