[发明专利]固态摄像元件、制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及能够提高遮光性能的固态摄像元件、制造方法和电子设备。该固态摄像元件具有其中存储基板、逻辑基板和传感器基板被层叠的层叠结构。固态摄像元件设置有：贯通电极，其使存储基板和传感器基板彼此连接，并使得贯通电极穿过所述逻辑基板的半导体层；遮光金属膜，其设置在逻辑基板的设置在传感器基板侧的配线层中，并且遮光金属膜中形成有开口以便使所述贯通电极穿过；以及接触电极，其形成在逻辑基板和传感器基板之间的接合表面上，并且用于将贯通电极连接至传感器基板侧。本技术能够应用于例如其中层叠有三层基板的层叠型固态摄像元件。