[发明专利]先进的真空过程控制有效
| 申请号： | 201880070824.2 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN111295540B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | M·兹卡尔 | 申请（专利权）人： | VAT控股公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K51/02;F16K3/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;黄纶伟 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于按规定处理物体的真空处理系统，具有可抽真空的真空处理空间(1)、真空阀(10)、设计用于至少部分提供规定的过程状态的外围单元(4,21‑25)和调节控制单元(11)。真空阀(10)具有限定开口轴线的阀开口和环绕阀开口的第一密封面的阀座、具有对应于第一密封面的第二密封面的阀关闭件和与阀关闭件相连的驱动单元，驱动单元被设计成阀关闭件可按规定被改变和调节以提供各自阀开口状态。调节控制单元(11)设计用于多次执行过程循环，包括如此控制控制阀(4,21‑25)，可提供规定的过程状态的至少一部分，通过驱动单元的控制来执行提供阀开口状态的有针对性的改变或设定的调节循环，在此基于当前针对过程参数所规定的调节变量和基于目标变量。外围单元(4,21‑25)的控制和调节循环的执行在过程循环范围内能在过程循环范围内以规定的时间关系进行。 | ||
| 搜索关键词： | 先进 真空 过程 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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