[发明专利]结构缺陷检测系统及结构缺陷检测方法在审

专利信息
申请号: 201880071366.4 申请日: 2018-12-14
公开(公告)号: CN111316093A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 王星泽;舒远 申请(专利权)人: 合刃科技(深圳)有限公司
主分类号: G01N29/12 分类号: G01N29/12;G01N21/41;G01N29/44
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种结构缺陷检测系统,包括:激光器(1)、分光镜(2)、扩束镜(3)、半透半反镜(7)、声波发生器(4)、声波频率调节器(5)、成像透镜(6)、光电传感器(9)、计算机(8);计算机(8)控制声波发生器(4)发出声波信号;激光器(1)发出的激光形成了干涉光路,干涉光路在光电传感器(9)上形成散斑干涉场,生成散斑图像;光电传感器(9)将散斑图像传输至计算机(8)进行被测物体的缺陷检测。此外,还包括一种结构缺陷检测方法。采用该技术方案能够检测消费电子产品内部复杂、细小电子器件的装配缺陷,是一种非接触、高精度、在线式、实时性的无损检测方法。
搜索关键词: 结构 缺陷 检测 系统 方法
【主权项】:
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