[发明专利]用于测试测试样品电气性能的探针和相关的接近探测器有效
| 申请号： | 201880071948.2 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111316110B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | F·W·奥斯特贝格;D·H·彼得森;H·H·亨里克森;A·卡利亚尼;O·汉森;P·F·尼尔森 | 申请（专利权）人： | 卡普雷斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于材料和半导体晶片的直接纳米和微米级电气表征的探针。探针包括探针主体、从探针主体延伸的第一悬臂以及从探针主体延伸的第一热探测器。热探测器用于相对于测试样品定位悬臂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 样品 电气 性能 探针 相关 接近 探测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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