[发明专利]控制装置形状以改善磁性穿隧接面装置效能在审
| 申请号： | 201880072891.8 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN111919306A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杰斯明·哈克;汤姆·锺;邓忠建;荣·林;杨毅 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/12 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可依序形成连续层状物于对称的弧形电极上，以客制化层状薄膜装置如MTJ(磁性穿隧接面)装置的形状。一开始成形电极，使其具有凹面表面或凸面表面。依序形成的层状物可与上述形状共形，使其具有应变并造成多种结晶缺陷迁移远离对称轴，而保留于对称轴周围的区域为相对无缺陷。接着可图案化堆叠，只保留相对无缺陷的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 形状 改善 磁性 穿隧接面 效能 | ||
【主权项】：
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