[发明专利]用于形成喷墨喷嘴腔室的方法有效
| 申请号： | 201880072892.2 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111655494B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 安格斯·诺斯;马修·沃克 | 申请（专利权）人： | 马姆杰特科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张华卿;杨明钊 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于在晶圆衬底的前侧表面上限定的孔上方形成喷墨腔室的方法。所述方法包括以下步骤：(i)将干膜光致抗蚀剂层叠层到所述前侧表面上；(ii)在所述干膜光致抗蚀剂中限定与腔室壁对应的壁开口；(iii)将腔室材料沉积到所述壁开口中和所述干膜光致抗蚀剂上方，以便形成腔室壁和腔室顶部；(iv)在所述腔室顶部中限定喷嘴开口；以及(v)移除所述干膜光致抗蚀剂，以在所述孔上方形成所述喷墨腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 喷墨 喷嘴 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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