[发明专利]表面特性检查装置和记录介质有效
| 申请号： | 201880073482.X | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111356913B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 长冈英一 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01N21/57 | 分类号： | G01N21/57;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;李成必 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供表面特性检查装置，使检测检测对象的表面特性时的检测设备的定位变得容易，所述表面特性检查装置包括：检测设备，向检测对象照射光并检测来自检测对象的反射光；处理部，通过处理来自检测设备的数据来计算表面特性；引导信息生成部，生成与相对于检测对象的检测设备的距离和/或姿势相关的信息；以及通知部，通知由引导信息生成部生成的与距离和/或姿势相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 特性 检查 装置 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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