[发明专利]用于光刻设备的载物台轴承有效
| 申请号： | 201880073599.8 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111344638B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 黄仰山;P·C·J·德杰格;R·瑞立克;C·L·瓦伦汀;J·L·J·舒尔滕;A·H·维尔魏;E·范霍恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C32/06;F16C33/74 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种载物台承载系统可以包括：载物台、耦接到载物台的空心轴、以及耦接到空心轴和载物台的内真空气体轴承组件。内真空气体轴承组件可以包括气体轴承、扫气槽和真空槽。气体轴承沿内真空气体轴承组件的内壁和空心轴的外壁设置。扫气槽沿所述内壁设置，使得扫气槽与气体轴承隔离。真空槽沿所述内壁设置，使得真空槽与扫气槽及气体轴承隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 载物台 轴承 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880073599.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于分子成像的双标记的探针及其用途
- 下一篇：用于操作应用的电子设备
