[发明专利]用于实施材料去除操作的组合物及其形成方法有效
| 申请号： | 201880074021.4 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111566179B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | S·博蒂列里;纳比尔·纳哈斯;道格拉斯·E·沃德;宽春伦 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种组合物，所述组合物包括载体和包含在所述载体中的磨料微粒；所述载体包括液体，所述磨料微粒具有占所述磨料微粒平均至少10重量％的氧化铈以及至少0.1的铈3+比率(Ce 3+/总铈)。在另一实施例中，浆料组合物可包括液体载体，所述液体载体包括水、氧化铈颗粒和游离硅酸盐离子，其中当抛光氧化硅晶片时，与不包括游离硅酸盐离子的浆料组合物相比，材料去除率可增加至少3％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 实施 材料 去除 操作 组合 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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