[发明专利]合成石英玻璃基板用的抛光剂及合成石英玻璃基板的抛光方法有效
| 申请号： | 201880074332.0 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111373006B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 高桥光人 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;B24B37/00;C03C19/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为一种合成石英玻璃基板用的抛光剂，其为用于合成石英玻璃基板的抛光剂，其特征在于，所述抛光剂包含湿式二氧化铈颗粒与非球形二氧化硅颗粒，所述湿式二氧化铈颗粒的平均一次粒径为30nm～50nm，所述非球形二氧化硅颗粒的平均一次粒径为80nm～120nm。由此，提供一种具有高抛光速度、同时能够充分减少因抛光导致的缺陷的产生的合成石英玻璃基板用的抛光剂。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 基板用 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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