[发明专利]溅射的锂钴氧化物靶有效
| 申请号： | 201880074505.9 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111373071B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | W·德博舍;J·奥伯斯特伯格豪斯 | 申请（专利权）人： | 梭莱先进镀膜工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C01G51/00;C04B35/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
包括顶涂层(103)的溅射靶(100)，所述顶涂层(103)包含锂钴氧化物Li |
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| 搜索关键词： | 溅射 氧化物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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