[发明专利]感光性转印材料及其制造方法、树脂图案的制造方法以及电路布线的制造方法在审
申请号: | 201880074914.9 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN111417900A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 藤本进二;汉那慎一;两角一真;筱田克己 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08F2/44;G03F7/033;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种感光性转印材料及其制造方法以及使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法及电路布线的制造方法,该感光性转印材料中,在覆盖膜上依次具有感光层、中间层、粘合性层及临时支承体,上述中间层包含粒子,上述中间层与上述粘合性层接触,上述中间层与上述粘合性层能够剥离,剥离上述中间层与上述粘合性层之后的上述中间层的表面具有通过上述粒子形成的凹凸。 | ||
搜索关键词: | 感光性 材料 及其 制造 方法 树脂 图案 以及 电路 布线 | ||
【主权项】:
暂无信息
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