[发明专利]基板检查装置、检查位置补正方法与信息产生方法及系统有效
| 申请号： | 201880075733.8 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111386469B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 豊田雅纪;三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/54;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板检查装置、检查位置补正方法与信息产生方法及系统，包括：检查治具，保持多个探针；驱动机构，使多个探针接触基板的面；存储部，事先存储包含多个各探针的导通状态的组合模式，且表示检查治具的偏离的偏离信息与各组合模式建立对应的位置补正信息；导通状态检测部，使检查治具朝规定的检查位置移动，在所述检查位置上使各探针接触基板来检测各探针的导通状态；偏离信息获取部，根据被检测的各探针的导通状态选择多个组合模式中的一个，并将利用位置补正信息而针对所选择的组合模式建立对应的偏离信息作为补正偏离量而获取；补正部，根据补正偏离量补正检查位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 位置 补正 方法 信息 产生 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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