[发明专利]等离子体室壁状况的实时监测方法和装置在审
| 申请号： | 201880076585.1 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111406304A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 吕克·阿尔巴雷德;亚辛·卡布兹;乔治·卢克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G02B6/02;G01N21/64 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 衬底处理系统包括处理室。在处理室内布置有基座和喷头。表面等离激元共振(SPR)纤维具有设置在处理室中的中央部分和设置在处理室外部的相对末端。光源在SPR纤维的一个末端提供输入光，检测器从SPR纤维的另一末端接收输出光。表面等离激元波和消逝波构成输出光，对其进行处理和分析以确定处理室的状况。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 状况 实时 监测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880076585.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
