[发明专利]由柔性电路基板形成的微设备在审

专利信息
申请号: 201880076708.1 申请日: 2018-10-01
公开(公告)号: CN111989545A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: S.A.马什 申请(专利权)人: 恩赛特有限责任公司
主分类号: G01C19/5712 分类号: G01C19/5712
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张邦帅
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 公开了一种柔性电子电路基板,其包括由柔性电子电路基板的各层制成的设备,作为柔性电子电路基板的构造的一部分。此类设备可以是功能单元,例如微机电(MEMS)设备,例如微加速度计传感器元件,微流量传感器,微压力传感器等。
搜索关键词: 柔性 路基 形成 设备
【主权项】:
暂无信息
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