[发明专利]由柔性电路基板形成的微设备在审
申请号: | 201880076708.1 | 申请日: | 2018-10-01 |
公开(公告)号: | CN111989545A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | S.A.马什 | 申请(专利权)人: | 恩赛特有限责任公司 |
主分类号: | G01C19/5712 | 分类号: | G01C19/5712 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张邦帅 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种柔性电子电路基板,其包括由柔性电子电路基板的各层制成的设备,作为柔性电子电路基板的构造的一部分。此类设备可以是功能单元,例如微机电(MEMS)设备,例如微加速度计传感器元件,微流量传感器,微压力传感器等。 | ||
搜索关键词: | 柔性 路基 形成 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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