[发明专利]谐振子和谐振装置有效
申请号: | 201880077004.6 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN111418151B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 广田和香奈;西村俊雄;维莱·卡亚卡里 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/24 | 分类号: | H03H9/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王玮;张丰桥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在并联连接的压电谐振子中,抑制由杂散电容引起的特性降低。具备:基板;绝缘膜,其形成在基板上;多个振动区域,其为形成在绝缘膜上的多个振动区域,且各振动区域具有形成在绝缘膜上的下部电极、形成在下部电极上的压电膜和形成在压电膜上的上部电极,使形成在绝缘膜上的多个下部电极中的至少一个下部电极成为与其他下部电极不同的电位,以使得至少一个振动区域与其他振动区域反相振动;以及封装,其为对具有基板、绝缘膜、多个振动区域的谐振子进行密封的封装,且具有使基板接地的接地用端子。 | ||
搜索关键词: | 谐振子 谐振 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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