[发明专利]用于装置相关叠加计量的系统及方法有效
| 申请号： | 201880077786.3 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN111433676B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | F·拉斯克;U·铂尔曼;S·艾林;N·古特曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种叠加计量系统可测量样本上的叠加目标的第一层上的装置特征图案与参考特征图案之间的第一层图案放置距离。所述系统可进一步继制造至少包含所述装置特征图案及所述参考特征图案的第二层之后测量所述第二层上的所述装置特征图案与所述参考特征图案之间的第二层图案放置距离。所述系统可进一步基于所述第一层及所述第二层上的所述参考特征图案的相对位置测量参考叠加。所述系统可进一步通过用所述第一层图案放置距离与所述第二层图案放置距离之间的差调整所述参考叠加而确定所述装置级特征图案的装置相关叠加。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装置 相关 叠加 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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