[发明专利]快照椭圆偏振仪有效
申请号: | 201880078130.3 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN111542734B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | G·A·P·霍沃尔卡;J·A·范德斯利斯 | 申请(专利权)人: | J.A.伍兰牡股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/447 | 分类号: | G01J3/447;G01J4/00;G01N21/21;G02B5/30 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 周阳君 |
地址: | 美国内布*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。 | ||
搜索关键词: | 快照 椭圆 偏振 | ||
【主权项】:
暂无信息
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