[发明专利]快照椭圆偏振仪有效

专利信息
申请号: 201880078130.3 申请日: 2018-12-10
公开(公告)号: CN111542734B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: G·A·P·霍沃尔卡;J·A·范德斯利斯 申请(专利权)人: J.A.伍兰牡股份有限公司
主分类号: G01J3/447 分类号: G01J3/447;G01J4/00;G01N21/21;G02B5/30
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 周阳君
地址: 美国内布*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。
搜索关键词: 快照 椭圆 偏振
【主权项】:
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