[发明专利]电声谐振器装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201880078689.6 申请日: 2018-12-03
公开(公告)号: CN111434036A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: M·希克;B·巴德 申请(专利权)人: RF360欧洲有限责任公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/10;H03H9/17;H03H3/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 张宁
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 电声谐振器装置包括衬底(100)、底部电极和顶部电极(121、122)以及设置在其之间的压电层(130)。布拉格镜元件(110)设置在底部电极和衬底之间。导热材料包括非晶态或多晶氮化铝(150、151、155),导热材料与压电层和衬底接触来形成导热路径,以耗散在谐振器装置操作期间,在谐振器装置的声学活跃区域中生成的热量。
搜索关键词: 电声 谐振器 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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