[发明专利]用于制造湿度传感器的方法及湿度传感器在审
| 申请号： | 201880078853.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111480068A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | E.迪鲁普特 | 申请（专利权）人： | 梅斯法国公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B01D67/00;C23C14/22;H01L21/283 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)提供底部基板，b)在基板上或上方提供第一和电连接器件，c)提供绝缘层，用于将第一电极与电连接器件电绝缘，d)在第一电极的区域中的绝缘层上方提供无机多孔介电层，e)通过掠入射沉积在多孔介电层上方提供与电连接器件电连接的第二电极。此外，本发明涉及通过该方法获得的相对湿度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 湿度 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于梅斯法国公司，未经梅斯法国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880078853.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
