[发明专利]图案形成方法、晶体管的制造方法和图案形成用部件有效
| 申请号： | 201880079273.6 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111433675B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 川上雄介 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07F7/18;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于洁;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成方法，其是在对象物的被处理面上形成图案的图案形成方法，其包括下述工序：第1层形成工序，在上述被处理面上形成第1层，该第1层包含具有能够用酸分解、并且还能够用光分解的保护基团的化合物；第2层形成工序，在上述第1层上形成包含通过曝光而产生酸的光产酸剂的第2层；曝光工序，对上述第1层和上述第2层进行曝光，在上述第1层上形成由曝光区域和未曝光区域构成的潜像；以及配置工序，将图案形成材料配置在上述曝光区域或上述未曝光区域。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 晶体管 制造 部件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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