[发明专利]用于蒸汽发生和薄膜沉积的设备和方法

摘要

用于发生蒸汽的设备和方法，具有紧凑的汽化器设计，并将用于汽化的气体和液体混合物暴露于降低的最高温度。气体和液滴流过金属壳体(110)，该金属壳体(110)被构造为加热气体和液滴混合物以汽化，该方法包括引导气体和液滴混合物通过金属壳体的入口(120)，并使气体流过由围绕中心轴线布置的多个管状流道(180)限定的曲折流路以汽化。流路被引导通过热交换器(410)，包括在流入上述另外的曲折流路之前流路方向的一个或多个变化。残余液滴可以通过流过第二金属壳体而进一步汽化，该第二金属壳体被构造为加热气体和液滴混合物以汽化，并具有与第一金属壳体类似的构造，并提供第二曲折流路。