[发明专利]用于控制制造设备的方法以及相关联的设备有效
| 申请号： | 201880080607.1 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111480119B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | M·库伊曼;S·F·伍伊斯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种预测形成于衬底上的多个特征的主导故障模式和/或故障率的方法，以及相关联的检查设备。所述方法包括：确定每个特征的放置指标，所述放置指标包括所述特征是否处于预期位置的量度；和比较所述放置指标的分布与参考(例如，高斯)分布。所述放置指标可以包括针对位于限定每个特征的边界上的多个边界点的边界指标，所述边界指标包括边界点是否处于预期位置的量度。根据所述比较来预测所述多个特征的所述主导故障模式和/或所述故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 制造 设备 方法 以及 相关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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