[发明专利]用于点束和线束结晶的系统和方法在审
| 申请号： | 201880080940.2 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN111479650A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·S·尹;潘文凯;宋若冰;崔寅成;弗农·王 | 申请（专利权）人： | 纽约市哥伦比亚大学理事会 |
| 主分类号： | B23K26/066 | 分类号： | B23K26/066;C30B13/24;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;胡彬 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于结晶薄膜的方法和系统提供了光学系统，所述光学系统被配置为产生指向所述薄膜的激光点束并且在所述激光点束与所述薄膜接触之前截断所述激光点束。在照射所述薄膜的非晶硅区域以在所照射的非晶硅区域中生成熔融区域的同时，所截断的激光点束在第一方向中连续地平移，其中所述薄膜冷却并且凝固以形成晶粒。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 结晶 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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