[发明专利]研磨组合物在审
| 申请号： | 201880080961.4 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111527175A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 森山和樹 | 申请（专利权）人： | 霓达杜邦股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304;H05K3/26 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为研磨组合物，是对铜或铜合金和树脂进行研磨的研磨组合物，包含氧化铝磨料、甘氨酸、阴离子表面活性剂、以及水。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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