[发明专利]基板检查装置在审
| 申请号： | 201880081787.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111492254A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 生野裕仁;松川俊英 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/54;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明包括：基板保持构件2，保持作为检查对象的基板10；检查夹具4a、检查夹具4b，具有可动板6a、可动板6b以及支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑构件7，所述可动板6a、可动板6b具有与所述基板保持构件2所保持的基板10的检查对象部13D、检查对象部13U接触的接触部63、63；以及升降驱动机构5a、升降驱动机构5b，使所述检查夹具4a、检查夹具4b升降移位，从而使所述可动板6a、可动板6b移动至所述接触部63、63接近所述检查对象部13D、检查对象部13U的检查待机位置，本发明中，在所述支撑构件7上设置有轴支部8以及摆动驱动部，所述轴支部8包括以能够摆动的方式支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑轴81，所述摆动驱动部使所述可动板6a、可动板6b以所述支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使所述接触部63、63与所述检查对象部13D、检查对象部13U接触。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
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